雙級旋片真空泵的工作原理和適用特點分析
瀏覽次數(shù)：4632發(fā)布日期：2023-03-02
雙級旋片真空泵由兩個工作室組成，兩室前后串聯(lián)，同向等速旋轉(zhuǎn)；一般流程中被抽氣體由進(jìn)氣口進(jìn)入高真空級，經(jīng)過高真空級壓縮后再經(jīng)通道進(jìn)入到低真空級再度進(jìn)行壓縮；但在抽氣剛開始時，一般情況下真空室的壓力本身較高，被抽氣體經(jīng)過高真空級壓縮后因增幅過大會早早達(dá)到排氣壓力，此時壓縮氣體會由輔助排氣閥排出一部分，另外一部分繼續(xù)進(jìn)入低真空級進(jìn)行壓縮排放；抽到一定程度后，進(jìn)氣壓力變小，這時經(jīng)過高真空級壓縮后的氣體壓力會低于輔助排氣閥的開啟壓力，這時輔助排氣閥就會關(guān)閉，氣體會全部經(jīng)通道進(jìn)入低真空級壓縮后排出。
雙級旋片真空泵的特點；
l、該泵是抽除氣體的基本設(shè)備之一，它可單獨使用，也可與增壓泵、擴(kuò)散泵、分子泵等超高真空泵連接在一起作為前級泵使用，廣泛用于電子器件制造、真空干燥、過濾、浸漬、涂膜、焊接、冶煉及實驗室裝備等。
2、真空泵在環(huán)境溫度5℃～40℃范圍內(nèi)，進(jìn)氣口壓強小于10托的條件下，允許長期運轉(zhuǎn)，被抽氣體相對溫度大于90%時，應(yīng)開氣鎮(zhèn)閥。
3、真空泵進(jìn)氣口連續(xù)敝通大氣運轉(zhuǎn)不得超過3分鐘.
4、真空泵不適用于抽除對金屬有腐蝕的、對泵油起化學(xué)反應(yīng)的、含有顆粒塵埃的氣體，以及含氧過高的、爆炸性的、有毒的氣體。
雙級旋片真空泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切（二者有很小的間隙），轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個旋片，將定子分隔成兩個工作腔（高、低級工作腔），旋轉(zhuǎn)時，雙級旋片式真空泵靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內(nèi)壁保持接觸，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動，使得高級工作腔容積周期性擴(kuò)大而吸氣，低級工作腔容積周期性縮小而壓縮氣體，借助氣體和油的壓力推開排氣閥排氣，從而獲得真空。當(dāng)吸入壓力較高時（例如從大氣壓開始吸氣），氣體在高級腔被壓縮，壓力急增，則被壓縮的氣體的一部分直接從輔助排氣閥排出，另一部分氣體經(jīng)壓縮后通過中壁內(nèi)的級間通道進(jìn)入低級腔，再次壓縮后從低級排氣閥排出，此時高低級腔同時排氣；當(dāng)吸入壓強較低時（例如泵工作一段時間之后），氣體由吸氣口進(jìn)入高級腔，氣體在高級腔內(nèi)壓縮所產(chǎn)生的壓力不足以推開輔助排氣閥而直接通過級間通道進(jìn)入低級工作腔，再次壓縮后從低級排氣閥排出。
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